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        技術(shù)文章

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光倍頻成分

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        Nd:YAG和Nd:YVO4激光2倍頻成分

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光器的諧波廣泛用于材料加工和測量應(yīng)用。 此外,Nd:YAG激光器的二次諧波通常用作Ti:藍(lán)寶石激光器的泵浦源。 在這些頁面上,我們引入了532nm的光學(xué)器件:雙波長反射鏡,分離器,薄膜偏振器和非偏振分束器,還包括不同配置的緊湊型二極管泵浦激光器的腔體光學(xué)器件。 所有設(shè)計(jì)均按客戶要求計(jì)算。

        圖1:泵浦波長(808nm)具有高透射率的雙波長腔鏡的反射光譜(a)

        和雙波長轉(zhuǎn)向鏡(b)

        圖2:來自地面波長的2倍頻的分離器的反射光譜:

        (a):HR(0°,1064nm)> 99.9%+ R(0°,532 + 808nm)<3%

        (b):HRs + p(45°,532nm)> 99.9%+ Rs + p(45°,808 + 1064nm)<2%

        圖3:532nm的薄膜偏振器(a)和非偏振分光鏡(b)的反射光譜,

        Rs = Rp = 50±2%(| Rs-Rp | <3%)

        用于p偏振光的薄膜偏振器的傳輸可以通過改進(jìn)的空腔環(huán)形降低設(shè)置以高精度測量。

        圖4:二次諧波和地波(a)的三次諧波分離器和355nm和532nm雙波長轉(zhuǎn)向鏡的反射光譜(b)

        對于紫外光譜范圍內(nèi)諧波的分離器的常規(guī)規(guī)格,請參見本的表格。 請立即與我們分離器或具有其他發(fā)生角度的鏡子。

        圖5:1064nm的HR鏡的反射光譜,其也是532nm的輸出耦合器:HR(0°,1064nm)> 99.9%+ R(0°,532nm)= 99%

         

        非線性光學(xué)晶體上的涂層

        非線性光學(xué)晶體是變頻的關(guān)鍵要素。 LAYERTEC在晶體上提供各種涂層,如KTP和鈮酸鋰

        圖6:532nm和1064nm的KTP上雙重抗反射涂層的反射光譜

         

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光3倍頻成分

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光器的3倍頻在材料加工以及測量應(yīng)用領(lǐng)域以及作為光參量振蕩器的泵浦源方面日益重要。 在這些頁面上,我們引入了355nm的光學(xué)器件:單波長鏡和多波長鏡,分離器,薄膜偏振器和抗反射涂層。 所有設(shè)計(jì)均按客戶要求計(jì)算。

        圖1:用于法向入射(a)和轉(zhuǎn)向鏡(b)的單波長鏡的反射光譜

        圖2:355nm和532nm(a)的雙波長轉(zhuǎn)向鏡的反射光譜

        的波長轉(zhuǎn)向鏡為355nm,532nm和1064nm(b)

        圖3:來自2倍頻和地面波長的3倍頻分離器的反射光譜:

        (a):標(biāo)準(zhǔn)型

        (b):對于1064nm的低反射率而特別優(yōu)化的分離器

        對于紫外光譜范圍內(nèi)諧波的分離器的常規(guī)規(guī)格,請參見本的表格。

        請立即與我們分離器或具有其他發(fā)生角度的鏡子。

        圖4:2倍頻和地面波長3倍頻特殊分離器的反射光譜:

        (a)氟分離器HR(45°,355nm)> 95%+ Rp(45°,532nm)<2%+ Rs,p(45°,1064nm)<2%

        (b)HR(45°,532nm)> 99.8nm + R(45°,355nm)<5%

        氟分離器在高功率密度下顯示出延長的使用壽命。

        圖5:355nm薄膜偏光片的反射光譜:HR(55°,355nm)> 99%+ Rp(55°,355nm)<5%

        可以通過角度調(diào)整來優(yōu)化p偏振光的透射。 將偏振器傾斜±2°將Rp的小值偏移到更長或更短的波長,這可以顯著提高偏振率。

        圖6:用于355nm的單波長AR涂層的反射光譜針對AOI = 0°-30°(a)和

        在355nm,532nm和1064nm的熔融二氧化硅上的三重波長抗反射涂層。

         

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光器高次倍頻成分

        Nd:YAG和Nd:YVO4激光器的倍頻廣泛用于材料加工和測量應(yīng)用。 在這些頁面上,我們?yōu)榈谒模?66nm)和第五倍頻(213nm)引入雙波長鏡和隔離器。 所有設(shè)計(jì)均按客戶要求計(jì)算。

        圖1:266nm和355nm(a)的雙波長轉(zhuǎn)向鏡的反射反射光譜和來自長波長倍頻和地面波長(b)的四次倍頻的分離器

        圖2:來自長波長倍頻和地面波長(b)的五次倍頻(a)轉(zhuǎn)向鏡和五次倍頻分離器的測量反射光譜; CaF2上的氟化涂層

        Separator
        type

        Centre
        wavelength

        Reflectance at centre
        wavelength [%]

        Reflectance at the corresponding longer
        Nd:YAG wavelengths [%]

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        266nm

        355nm

        532nm

        1064nm

         

         

        Rs

        Rp

        Rs

        Rp

        Rs

        Rp

        Rs

        Rp

        Rs

        Rp

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        3rd harmonic

        355nm

        > 99.7

        > 99

         

         

         

         

        < 5

        < 2

        < 10

        < 2

        4th harmonic

        266nm

        > 99.7

        > 99

         

         

        < 5

        < 2

        < 10

        < 2

        < 10

        < 2

        5th harmonic

        213nm

        > 97

        > 93

        < 5

        < 2

        < 10

        < 2

        < 10

        < 2

        < 10

        < 2

        表1:紫外線倍頻分離器的通用規(guī)格

        * CaF2上的氟涂層

        圖3:來自第四倍頻的二次倍頻的分離器的反射光譜:

        (a):HR(0°,532nm)> 99.5%+ R(0°,266nm)<10%(后側(cè)未涂布)

        (b):HR(0°,532nm)> 99.9%+ R(0°,266nm)<5%(后側(cè)未涂布)

        266nm的組件通常通過電子束蒸發(fā)產(chǎn)生。 這些涂層表現(xiàn)出高的損傷閾值,但可見光譜范圍內(nèi)的反射率限制在> 99.5%(見圖3a)。 近關(guān)于紫外線濺射涂層的研究結(jié)果表明,可以產(chǎn)生在VIS中具有顯著改善的反射率的分離器,其在UV中具有相似的性質(zhì)(參見圖3b)。

        圖4:第四和第五倍頻分離器的反射光譜:

        對于非偏振光,HRr(45°,266nm)> 98%+ Rr(45°,213nm)<10%

        a)為低雜散損耗而優(yōu)化的氧化物涂層(背面未涂層)

        b)氟化物涂層,用于高激光誘發(fā)損傷閾值(背面未涂層)

        因?yàn)檠趸X的吸收邊緣在這個(gè)波長范圍內(nèi)開始,所以在213nm處的五次倍頻是氧化物涂層的關(guān)鍵波長。 對于高功率應(yīng)用,我們建議根據(jù)ArF準(zhǔn)分子激光鏡技術(shù)生產(chǎn)的氟化鈣氟涂層。

         

        薄膜偏光鏡

        圖5:266nm(a)和213nm(b)的薄膜偏振器的反射光譜:

        a)HR(56°,266nm)> 98%+ Rp(56°,266nm)<1%

        b)HR(56°,213nm)> 97%+ Rp(56°,213nm)<5%;

        請注意,由于上述的失血損失,Tp只有75%左右

        磁控濺射使我們能夠?yàn)镹d:YAG激光器的第四和第五倍頻提供薄膜偏振器。

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